退火真空爐包括設(shè)置在爐管內(nèi)的石英管、爐管的前后端、前端蓋和后端蓋，在爐管的外壁和內(nèi)壁之間形成石英管加熱腔，石英管和前端蓋以及在端蓋之間形成的反應腔。

　　管內(nèi)風冷吹掃組件包括進氣管、吹掃管和吸入管，進氣管和吸入管設(shè)置在后端蓋上，吸入管與反應室連通，吹掃管設(shè)置在反應室內(nèi)，吹掃管一端與進氣管連通，另一端延伸至前端蓋。

　　吹掃管包括連接部、盤管部和延伸部，連接部與進氣管連接，盤管部與連接部連接并位于后端蓋附近，延伸部一端與盤管部連接，另一端延伸至前端蓋附近。

　　在這種結(jié)構(gòu)中，氮源氣體通過管內(nèi)的風冷吹掃組件進入反應室前端，氮氣從反應室前端流向后端，吸收大量熱量，然后從管內(nèi)的風冷吹掃組件中抽離，從而達到對整個反應室的快速冷卻效果。