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    加壓燒結(jié)真空爐工藝與設(shè)備發(fā)展

    發(fā)布日期:2025-08-04

      加壓燒結(jié)真空爐是集真空環(huán)境、高溫加熱與機(jī)械壓力于一體的核心設(shè)備,通過真空系統(tǒng)(極限真空達(dá)10??Pa)避免材料氧化,加熱系統(tǒng)(高3000℃)實(shí)現(xiàn)高溫?zé)Y(jié),加壓系統(tǒng)(10-100MPa)促進(jìn)材料致密化,可制備高性能陶瓷、超硬材料及金屬基復(fù)合材料。其工藝優(yōu)勢顯著:較傳統(tǒng)無壓燒結(jié),燒結(jié)溫度降低100-300℃,時間縮短50-70%,材料性能提升20-30%,制品致密度可達(dá)99.5%以上,晶粒細(xì)小且成分可控。

      設(shè)備發(fā)展呈現(xiàn)兩大趨勢:一是超大型化與智能化,如中南大學(xué)研制的直徑1.2米真空熱壓爐創(chuàng)國內(nèi)紀(jì)錄,湖南頂立科技開發(fā)的多缸同步加壓系統(tǒng)壓力均勻性達(dá)±1%,中科院上海硅酸鹽所的AI工藝優(yōu)化系統(tǒng)可實(shí)時調(diào)節(jié)溫度-壓力參數(shù),實(shí)現(xiàn)燒結(jié)缺陷智能診斷與工藝參數(shù)自動優(yōu)化;二是工藝創(chuàng)新與綠色制造,北京科技大學(xué)開發(fā)的微波輔助熱壓工藝使燒結(jié)時間縮短60%、能耗降低40%,廣州有色金屬研究院的廢料回收系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)燒結(jié)廢料100%再利用。

      應(yīng)用領(lǐng)域持續(xù)拓展,第三代半導(dǎo)體材料(如6英寸SiC單晶)、高溫陶瓷(如2200℃耐溫的ZrB?-SiC復(fù)合材料)、新型功能材料(如熱電材料、靶材)的制備均依賴此類設(shè)備。隨著設(shè)備大型化、智能化及工藝創(chuàng)新,加壓燒結(jié)真空爐在高端材料制備中的地位愈發(fā)關(guān)鍵,未來將向原創(chuàng)性技術(shù)創(chuàng)新方向突破,推動材料性能與制造效率的進(jìn)一步提升。

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