雙室油淬氣冷真空爐克服了硅煙氣在高溫真空狀態下容易與碳纖維發生反應，而碳纖維制成的保溫套失去了保溫效果的問題，爐體由外到內設有爐套和隔熱套，爐體與爐套之間設有保溫層。

　　絕緣套管內外表面均設有石墨襯套，使絕緣套管不直接面對硅粉氣體，燒結材料支撐架與石墨襯套固定連接，防止燒結材料支撐架通過分離器，有效保護絕緣套管，防止其絕緣效果喪失。

　　隨著改進，石墨套、燒結材料和電熱體表面涂有0.3-0.8mm厚的氮化硼，石墨套的作用是為燒結材料提供支撐，隔熱罩去除硅，但在高溫真空條件下，硅和石墨也能發生反應，氮化硼層是防止氣體和硅石墨進一步反應的。

　　燒結材料支撐架和電熱體可延長構件的使用壽命，作為進一步改進，空氣泵可在爐體外提供循環冷卻介質，空氣泵連接至保溫材料，以上所述希望可以給大家帶來幫助。