退火真空爐包括設(shè)置在爐管內(nèi)的石英管，爐管前后兩端，其前端蓋和后端蓋，石英管加熱腔在爐管外壁和內(nèi)壁之間形成，石英管與前端蓋和反應(yīng)腔之間形成端蓋。

　　管內(nèi)風(fēng)冷吹掃組件包括進(jìn)氣管、吹掃管和吸入管，進(jìn)氣管和吸入管設(shè)置在后端蓋上，吸入管和反應(yīng)室連通，吹掃管設(shè)置在反應(yīng)室中，吹掃管的一端與進(jìn)氣管連通，另一端延伸至前端蓋附近。

　　吹掃管包括連接部、盤管部和延伸部，連接部與進(jìn)氣管連接，盤管部與連接部連接并位于后端蓋附近，延伸部一端與盤管部連接，另一端延伸至前端蓋附近。

　　在這種結(jié)構(gòu)中，氮源氣體通過管中的風(fēng)冷吹掃組件進(jìn)入反應(yīng)室的前端，氮?dú)鈴姆磻?yīng)室的前端流到后端，吸收大量熱量，然后從管內(nèi)的風(fēng)冷吹掃組件中抽離，從而實(shí)現(xiàn)對整個(gè)反應(yīng)室的快速冷卻效果。