雙室油淬氣冷真空爐克服了高溫真空狀態下硅煙氣體易與碳纖維發生反應，碳纖維制成的保溫套管失去保溫效果的問題，爐體由外向內設有爐套和隔熱套，爐體與爐套之間有隔熱層。

　　絕緣套管的內、外表面設有石墨套管，使絕緣套管不直接面對硅粉氣體，燒結材料支撐架與石墨套筒固定連接，防止燒結材料支撐架通過分離器，有效地保護了絕緣套管，防止其絕緣效果喪失。

　　作為改進，石墨套管、燒結料架和電加熱體表面均涂有0.3-0.8mm厚的氮化硼層，石墨套的作用是為燒結料架提供支撐，并從隔熱罩中排出硅氣，但在高溫真空條件下，硅和石墨也能發生反應，氮化硼層是為了防止硅氣與石墨進一步發生反應。

　　燒結材料支撐架和電加熱體可提高部件的使用壽命，作為進一步改進，空氣泵可以在爐體外部提供循環冷卻介質，空氣泵與絕緣材料連接。