燒結真空爐主要用于半導體元件和電力整流器件的燒結過程，可用于真空燒結、氣體保護燒結和常規燒結。是半導體專用設備系列中的一種新型工藝設備。

　　它的設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，可以在一臺設備上完成多個工藝流程。也可用于其他領域的真空熱處理、真空釬焊等工藝。下面，小編將介紹真空燒結爐的應急措施。

　　真空燒結爐冷卻水異常。

　　1.確認加熱電源已停止。

　　2.如果爐外漏水，冷卻水量異常，應盡快采取應急措施。如果能保證水量，請繼續保持真空。如果不能采取應急措施，保持原狀，確認設備冷卻。

　　3.冷卻水異常時，設備停止，立即連接緊急冷卻水。

　　4.在高溫下(超過200℃視為高溫)，如果冷卻水停止，如果不能緊急送水，可能會損壞水冷電極、換熱器、真空室外殼和泵。

　　停電

　　1.停電時，若斷水，應立即連接備用冷卻水，連接水源。

　　2.如果在非加熱、加熱、冷卻時能盡快恢復，重新啟動設備，如需長時間繼續運行，則將設備保持原狀。

　　3.如果在加熱和冷卻時能盡快恢復，則重新啟動設備。如果需要很長時間，保持原狀，使設備自然冷卻。

　　加熱電源斷電。

　　1.當水壓低于0.15MPa時，壓力表報警。

　　2.接地故障。

　　3.真空放電，水冷電極接頭要與加熱器連接牢固，與反射屏絕緣良好。

　　4.如果爐內壓力為13.3-66.5Pa(這種真空度容易放電)。電源故障和斷電的原因可以認為是電介質擊穿引起的放電。